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原创 美国重重包围下，国产半导体设备替代之路还有多远？
集微网消息，近日，中美科技大战再掀波澜，而半导体行业也毫无意外地再次被推上风口浪尖。

美国半导体设备制造商LAM（泛林半导体）和AMAT（应用材料）等公司发出信函，要求中国国内从事军民融合或为军品供应集成电路的企业，不得用美国清单厂商半导体设备代工生产军用集成电路。

此次“信函事件”在刺痛国内民众敏感神经的同时，也直指中国半导体产业 为薄弱的环节——半导体设备。那么，中国对国外半导体设备的依赖性到底有多大？在美国的重重包围下，国产半导体设备替代之路还有多远？

美企设备占了半壁江山

半导体行业内有这样一个说法，“一代设备，一代工艺，一代产品”，半导体产品制造要超前电子系统开发新一代工艺，而半导体设备要超前半导体产品制造开发新一代产品。因此半导体设备行业被视作半导体芯片制造的基石，擎起了整个现代电子信息产业，是半导体行业的基础和核心。

而 新的数据显示，全球半导体设备TOP15的厂商中，日本企业占大头，共有8家日本企业排在前15之列，美国企业有4家，欧洲企业2家，还有一家在中国香港上市的新加坡企业。

此前，在集微网的龙门阵直播活动中，中芯国际集成电路制造有限公司联合CEO赵海军也指出，中国设备厂商在全球目前属于第二梯队。国外设备产业经过多年的兼并，呈现“强者更强，弱者出局”的市场格局，市场中剩下的竞争者都是龙头企业，只研发和生产优势设备产品。

一方面是极低的国产化占有率，另一方面中国市场对半导体设备存在着巨量的需求。据SEMI（国际半导体产业协会）发布的报告显示，2019 年全球半导体设备制造商收入达到 598 亿美元，较 2018 年 645 亿美元的历史峰值下滑 7%。数据显示，中国台湾以 171.2 亿美元的销售额成为半导体设备的 大市场，年增率高达 68%；中国大陆则以 134.5 亿美元的销售额继续保持着第二大半导体设备市场的地位。

不过需要指出的是，据SEMI于2019年12月的预测，2020、2021 年中国大陆半导体设备销售额增速将分别达 16%、10%，明显领先全球增速。现在中国大陆的半导体设备市场增速之快，已经成为了世界半导体设备厂商关注的重点市场。

虽然中国市场备受关注，但北方华创科技集团股份有限公司董事长赵晋荣也指出，与国外相比，中国的设备产业仍有很长的路要走。

近年来，国家也加大了对半导体设备的投入。特别是成立于2019年10月的大基金二期项目，将重点向设备和材料领域倾斜，大基金管理人特别强调二期基金将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持，推动龙头企业做大做强，形成系列化、成套化装备产品。

另一方面，国产半导体设备厂商也在奋力寻求突破和成长。在这过程中也涌现出了一批有潜力的本土半导体设备厂商，包括中微公司、北方华创、北方华创、盛美半导体、上海微电子等，他们也将成为中国半导体设备国产化率提高的希望。

下面我们看看其中一些公司的情况：

中微公司：公司主营业务聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。

2018年底，中微公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，中微突破关键核心技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际 梯队。2019年7月中微公司在科创板上市。

产品方面，公司产品性能突出，刻蚀设备和MOCVD设备已达到国际先进水平甚至是优于国际水平，并且产品覆盖不同的下游半导体应用市场，可以较好的应对下游投资波动过大对公司业绩带来的影响。

北方华创：成立于2001年，主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。

目前，北方华创已形成刻蚀机、PVD、CVD、清洗设备、立式炉等多种产品布局，已应用于数十种集成电路先进工艺制程中，这些产品均在国内主流生产线上获得批量应用。与此同时，公司在ICP领域深耕多年，布局产品涉及多种关键制程工艺应用。

上海微电装备：成立于2002年，主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

华海清科：成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。

华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

盛美半导体：于1998年在美国成立，后于2006年设立盛美上海，主要从事单晶片的湿式清洗设备的开发、生产和销售，除清洗设备外，公司还在中国销售定制晶圆级封装设备。目前，国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备，盛美是其中之一，另外4家全是海外企业，分别是Screen Semiconductor Solutions、Tokyo Electron、 Lam Research、SEMES。

2019年12月30日，盛美半导体上海临港研发及生产中心项目正式启动。盛美半导体设备（上海）股份有限公司是晶圆湿法清洗设备供应商，盛美半导体设备研发及制造中心项目总投资 8.8 亿元，预计于2020年开工，2023年竣工，开始试生产。2026年，项目将达产130台，销售额24亿元。

芯源微：于2002年创立，芯源微是国内涂胶显影设备龙头企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品有涂胶显影设备和单片湿法设备。

公司在涂胶显影设备方面优势突出，生产的设备已经打破了国外厂商垄断，如LED芯片支撑及集成电路制造封测等环节，率先实现进口替代。公司也是国内唯 一一家研发与制造涂胶显影设备的企业。

长川科技：成立于2008年4月，于2017年4月17日在深交所创业板挂牌上市，是一家专注于集成电路装备的研发、生产和销售的高新技术企业。长川科技生产的集成电路测试机和分选机产品已获得长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微电子、日月光等集成电路厂商的使用。

未来长川科技将重点开拓探针台、数字测试机、MEMS、IGBT、SOC、晶圆制造及封装相关设备等产品。

精测电子：武汉精测电子技术股份有限公司创立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在创业板上市。公司主要从事平板显示检测系统的研发、生产与销售，在国内平板显示测试领域处于绝对领先地位， 主营产品包括：模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备。近几年来，该公司积极对外投资，设立多家子公司，业务规模迅速扩张，进一步完善了产业布局。

总结：对于国产半导体设备未来的发展，业内人士表示，国内半导体设备的“黄金窗口期”已然打开。对于国产设备企业而言，能否有能力抓住市场机遇是 重要的。

纵观全球，日本和韩国半导体产业都曾迎来黄金阶段，从而带动了一批优秀的设备企业快速发展。“未来，随着全球半导体产业逐渐向中国转移，一定会诞生几家巨头企业，而国产设备厂商虽然只是产业链中很小的一个群体，但是一定是产业链中生命力 旺盛的群体，即小而有力量。”业内人士如是期许。（校对/ Jurnan ）
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